北京
国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“离子束刻蚀装置及其感应电极、显示面板的阵列基板”的专利，公开号CN122843277A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请公开了一种离子束刻蚀装置及其感应电极、显示面板的阵列基板，离子束刻蚀装置包括制备腔室、等离子源和感应电极；制备腔室包括沿第一方向依次设置的生成腔室和刻蚀腔室；等离子源设置于生成腔室；感应电极位于制备腔室内，并将制备腔室分隔为生成腔室和刻蚀腔室，感应电极包括多个沿第一方向延伸的第一通孔，第一通孔连通生成腔室和刻蚀腔室；其中，沿与第一方向垂直的第二方向，第一通孔包括相对设置的第一壁面和第二壁面，第一壁面与第二壁面非对称设置。本申请提高了离子束刻蚀装置的工艺性能。
天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目999次，专利信息4699条，此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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