国家知识产权局信息显示,东莞市胜创光电科技有限公司申请一项名为“一种具有倾斜端面的AWG芯片晶圆级形成及分离方法”的专利,公开号CN122836904A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明涉及集成光学器件制造技术领域,尤其涉及一种具有倾斜端面的AWG芯片晶圆级形成及分离方法,方法包括在晶圆基板的底面形成分离槽和多个梯形端面成形槽,梯形端面成形槽的槽侧壁对应于待形成的AWG芯片的倾斜端面位置;提供载板,载板的顶面设置梯形支撑凸起,将晶圆基板的底面与载板的顶面贴合,自晶圆基板的顶面朝向晶圆基板的底面进行研磨处理,直至分离槽和梯形端面成形槽被研磨贯通,使分离介质经由分离槽进入晶圆单体与载板之间并接触第一贴合层,以去除或削弱第一贴合层,使晶圆单体与载板分离,得到AWG芯片,利用预设的梯形端面成形槽形成AWG芯片倾斜端面,有利于实现晶圆级批量加工。
天眼查资料显示,东莞市胜创光电科技有限公司,成立于2013年,位于东莞市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本518.1251万人民币。通过天眼查大数据分析,东莞市胜创光电科技有限公司共对外投资了1家企业,财产线索方面有商标信息1条,专利信息25条,此外企业还拥有行政许可12个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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