北京
国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“透镜组件和曝光装置”的专利，公开号CN122837107A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请公开了一种透镜组件和曝光装置，透镜组件应用于曝光装置中的投影光学单元，透镜组件包括透镜本体、管道和调温单元，其中，管道围设于透镜本体的非光学边缘区域，管道用于容纳流体，调温单元与管道连接。在透镜组件存在加热需求的情形下，调温单元被配置为对管道内的流体进行加热，以对透镜本体的非光学边缘区域进行加热，和/或，在透镜组件存在降温需求的情形下，调温单元被配置为对管道内的流体进行冷却，以对透镜本体的非光学边缘区域进行降温。该方案中，根据实际需求控制管道内的流体与透镜本体的非光学边缘区域进行热交换，能够提高透镜本体光学性能的稳定性，从而提高曝光装置的成像精度。
天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目999次，专利信息4699条，此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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