北京
国家知识产权局信息显示，浙江创芯集成电路有限公司申请一项名为“改善炉管成膜均匀性的方法及炉管”的专利，公开号CN122833559A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本发明提供一种改善炉管成膜均匀性的方法及炉管，包括：将装载有若干待成膜晶圆的晶舟移入反应腔内，各所述待成膜晶圆包括中部区和围绕所述中部区的边缘区；利用分布于所述反应腔外侧的加热器对所述待成膜晶圆进行加热，以执行成膜工艺；通过第一温度传感器获取最顶层所述待成膜晶圆的中部区的第一温度；执行至少两次调温处理，所述调温处理的方法包括：当所述第一温度达到预设温度时，降低所述加热器的功率；当所述第一温度低于所述预设温度时，增加所述加热器的功率；通过控制晶圆中心温度在预设温度（工艺温度）两侧周期性波动，使晶圆边缘与中心的温度高低关系发生反复交叉，从而以时间换空间地补偿边缘过厚，改善成膜均匀性。
天眼查资料显示，浙江创芯集成电路有限公司，成立于2020年，位于杭州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本214766.6666万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江创芯集成电路有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目296次，财产线索方面有商标信息21条，专利信息722条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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