北京
国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“一种工艺腔室清洁系统、蒸镀系统及清洁方法”的专利，公开号CN122833543A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请提供了一种工艺腔室清洁系统、蒸镀系统及清洁方法，清洁系统包括等离子清洁装置和控制系统；等离子清洁装置包括等离子发生器和与等离子发生器相连的喷管，喷管设置有多个向工艺腔室内喷等离子体的喷头，且多个喷头包括特殊喷头；特定部件包括设置于工艺腔室内的支撑部件、用于使基板与掩膜板对正贴合的连接部件、对基板进行标记的对位标记头、用于传送基板的传送部件中的任意一者或任意组合；特殊喷头用于朝向特定部件喷射等离子体。该清洁系统通过简便快捷的方法对腔室内壁、腔室内关键部件的表层均进行有效清洁，提高清洁效果，保持腔室内部整体环境的洁净度，提高蒸镀成膜质量，并显著降低对生产效率的影响。
天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目999次，专利信息4699条，此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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