北京
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国家知识产权局信息显示，中南大学、湖南红太阳光电科技有限公司申请一项名为“一种管式PECVD设备的轴向分区补气系统及其控制方法”的专利，公开号CN122833572A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种管式PECVD设备的轴向分区补气系统及其控制方法，补气系统包括主进气管以及沿反应腔室轴向设置的多段补气支管；主进气管设置于反应腔室的炉口端，用于通入主反应气体，形成沿反应腔室轴向从炉口至炉尾的主气流；每段补气支管均为独立的环形或弧形管道，并环绕于石墨舟外围或镶嵌于反应腔室内壁，每段补气支管上开设有多个喷气孔，喷气孔的出气方向朝向舟片间隙或反应腔室的中心轴线。本发明通过沿反应腔室轴向设置多段独立可控的补气管路，结合各分区的温度、压力及反应物消耗速率，主动、动态地对沿程气体浓度进行空间补偿，从根本上解决大腔室管式PECVD沿轴向膜厚均匀性差的难题，并实现对不同工艺配方的快速适配。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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