国家知识产权局信息显示,合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“抽真空装置和离子注入机”的专利,公开号CN122843246A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本申请涉及一种抽真空装置和离子注入机。所述抽真空装置包括:壳体组件,所述真空腔室具有沿水平方向相对设置的第一内壁和第二内壁,所述抽真空口设于所述第一内壁上,所述基板载台包括两个位于上方的基板载台远离所述抽真空口的一端与所述第二内壁在水平方向上的距离为a,位于下方的基板载台远离所述抽真空口的一端与所述第二内壁在水平方向上的距离为b,a小于b。如此可以减少撞击在下方的基片载板,以及基板载板上的待加工件的气流,进而减少附着在待加工件表面上的水汽,减少对待加工件后续加工的影响,提高最后产品的成品率。
天眼查资料显示,合肥维信诺科技有限公司,成立于2018年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目999次,专利信息4699条,此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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