北京
国家知识产权局信息显示，中船派瑞特种气体（上海）有限公司申请一项名为“一种介孔材料载持的五（二甲氨基）钽制备氮化钽薄膜的方法”的专利，公开号CN122847049A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种介孔材料载持的五（二甲氨基）钽制备氮化钽薄膜的方法。本申请在氮气气氛中，将五（二甲氨基）钽和溶剂加入容器中混匀，随后加入介孔材料静置，静置过后，真空抽干溶剂得到介孔材料载持的五（二甲氨基）钽，将介孔材料载持的五（二甲氨基）钽作为钽源前驱体，通过ALD制备氮化钽薄膜。本申请通过介孔材料纳米限域物理隔离PDMAT，解决了其团聚、晶体粗化问题，实现蒸气长期稳定输出，避免热分解和溶剂杂质污染，制备得到的氮化钽薄膜均匀致密。
天眼查资料显示，中船派瑞特种气体（上海）有限公司，成立于2023年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本16000万人民币。通过天眼查大数据分析，中船派瑞特种气体（上海）有限公司参与招投标项目55次，专利信息20条，此外企业还拥有行政许可17个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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