北京
分享至
国家知识产权局信息显示，LPE公司、ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“从反应器部件蚀刻碳化硅堆积”的专利，公开号CN122833558A，申请日期为2026年3月。
专利摘要显示，本发明涉及一种从用于在衬底上沉积碳化硅层的反应室的一个或多个工件蚀刻碳化硅堆积的方法。该方法包括以下步骤：(i)在用于沉积碳化硅的反应器的反应室的一个或多个工件上提供碳化硅堆积；(ii)执行蚀刻过程的至少一个循环；(iii)执行化学气相沉积过程的至少一个循环。本发明还涉及一种适于执行所述方法的反应器。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
