北京
国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“具有载台的等离子刻蚀设备及其使用方法”的专利，公开号CN122843269A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请实施例提供一种具有载台的等离子刻蚀设备及其使用方法，等离子刻蚀设备包括工艺腔室、支撑载台、刻蚀机构、感应电极。工艺腔室设有容纳空间，包括沿第一方向间隔设置的底壁和顶壁。支撑载台设置于底壁在第一方向的一侧并用于承载待刻蚀基材，支撑载台具有通路，通路在支撑载台的表面形成第一开口，第一开口位于待刻蚀基材的周侧。刻蚀机构设置于容纳空间，刻蚀机构位于支撑载台背离底壁的一侧并与支撑载台间隔设置。感应电极位于刻蚀机构和支撑载台之间，感应电极与支撑载台间隔设置，感应电极具有中间区和环绕中间区设置的边缘区，感应电极包括贯穿设置的多个通孔，在第一方向上，第一开口与位于边缘区的通孔的至少部分对应设置。
天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目999次，专利信息4699条，此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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