山东
2026年9月28日，上海证监局公示，费勉科技（上海）股份有限公司首次公开发行股票并上市辅导备案获受理，辅导机构为华泰联合证券。
先进电子材料研发、制备与量测的高端仪器设备供应商，覆盖从实验室科研到半导体产线的完整产品矩阵。国家级专精特新"小巨人"、上海市高新技术企业、上海市专利示范单位。在超高真空、薄膜制备、等离子技术等领域实现多项进口替代。工业在线XPS设备可兼容12英寸晶圆无损检测。
四大产品线，科学仪器（超高真空互联系统、量子材料制备系统）、等离子技术（高亮度紫外光源、紫外光辐照测试系统）、半导体薄膜（分子束外延设备、磁控溅射设备）、工业量测（精卫系列科研级XPS、泰坦系列工业级XPS）。
客户覆盖清华、北大、复旦、中科院等顶尖科研机构及半导体工业客户。以底层物理原理仿真模拟为核心技术，自主开发分子束外延、磁控溅射和解理镀膜设备。独创性大容量源炉、大尺寸衬底加热器、阀式裂解源、高通量射频等离子源、全自动传样机械臂等核心部件均为自主研发。
从科研仪器向半导体工业设备延伸，工业在线XPS设备切入半导体量检测赛道，兼容12英寸晶圆无损检测。与科学指南针共建XPS联合实验室，拓展工业量测市场。累计获授权专利近200项。核心团队均出身复旦大学凝聚态物理领域，在超高真空、低温、薄膜制备及等离子技术四个领域有十余年技术积累。高端科学仪器长期依赖进口，国产替代空间巨大。半导体量检测设备是"卡脖子"领域，12英寸晶圆XPS检测设备国产化率极低。
2025年营业收入3.78亿元。员工约440人，公司2026年5月刚完成数亿元C轮融资，累计融资近10亿元。核心创始团队三人均出自复旦大学凝聚态物理，董事长赵嘉峰博士（精密仪器研发）、CEO欧宏炜博士（企业管理）、CTO谢斌平博士（半导体装备技术）。公司2012年创立于上海，南京设有子公司。C轮投资方包括复容投资、复旦科创、工业母机基金、元禾璞华、深创投、哈勃投资、国科嘉和等十余家国家级产业资本。
辅导机构为华泰联合证券。笔者结合C轮融资用途（研发投入、专利布局、产能提升、市场拓展），预计募资将用于半导体薄膜设备产业化、XPS量测设备扩产及研发中心建设。
费勉科技是复旦系硬核科学仪器公司，从科研设备向半导体量检测设备延伸，国产替代逻辑清晰。深创投、哈勃等产业资本加持。选择沪深主板路径，若顺利推进，有望成为"高端科学仪器国产替代第一股"。
本文仅作信息梳理，不构成投资建议。
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