国家知识产权局信息显示,安徽其芒光电科技有限公司取得一项名为“一种晶圆真空镀膜设备的镀膜模块”的专利,授权公告号CN224798964U,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本申请公开一种晶圆真空镀膜设备的镀膜模块,涉及真空镀膜领域,包括:壳体;设置于所述壳体内的支撑板;可移动地设置于所述支撑板下方的多个承载块,所述承载块通过连杆与所述支撑板相连;所述连杆在竖直方向上穿过所述支撑板,所述连杆的底端与所述承载块固定相连且位于所述支撑板的下方,所述连杆的顶端位于所述支撑板的上方;固定设置于所述壳体内的靶材,所述靶材位于所述承载块下方;与所述支撑板相连的第一驱动件,用于驱动所述支撑板绕竖直方向旋转;能与所述连杆的顶端相连的第二驱动件,用于驱动所述连杆带动所述承载块沿竖直方向移动。本说明书所提供的晶圆真空镀膜设备的镀膜模块,能实现晶圆的连续镀膜,提高加工效率。
天眼查资料显示,安徽其芒光电科技有限公司,成立于2021年,位于合肥市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1844.5867万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽其芒光电科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目5次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息37条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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