国家知识产权局信息显示,拓荆科技(上海)有限公司取得一项名为“一种提升罐内化学源工艺稳定性的结构”的专利,授权公告号CN224798972U,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种提升罐内化学源工艺稳定性的结构,包括:液体容器、液位检测结构、控制结构、搅拌结构;所述液体容器上设有进口和出口,所述搅拌结构的一端插设在所述液体容器内,所述液位检测结构与所述控制结构连接;所述控制结构与所述搅拌结构连接。通过实施本实用新型的结构可实现提升罐内化学源工艺稳定性,以解决在长时间运行过程中,随着液态前驱体的消耗导致液面下降和容器内上方空间增大,影响前驱体的蒸汽压和输送效率,进而对原子层沉积工艺的稳定性和薄膜质量产生的不利影响。
天眼查资料显示,拓荆科技(上海)有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本283508.77万人民币。通过天眼查大数据分析,拓荆科技(上海)有限公司参与招投标项目54次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息457条,此外企业还拥有行政许可45个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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