北京
国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“准分子激光退火设备及其激光退火方法”的专利，公开号CN122825687A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请提供一种准分子激光退火设备及其激光退火方法，本申请提供的准分子激光退火设备，通过设置依次连接的预真空腔室、传送腔室和工艺腔室，并利用抽真空机构用于对预真空腔室、传送腔室和工艺腔室抽真空，形成三级真空腔室，工艺腔室的真空度大于传送腔室的真空度，传送腔室的真空度大于预真空腔室的真空度；未进行激光退火的基板依次经过预真空腔室和传送腔室进入工艺腔室；激光退火后的基板从工艺腔室经过传送腔室返回预真空腔室，减少工艺腔室在开合过程中的氧气进入，可以有效控制工艺腔室内氧气含量，避免产品氧化。同时，传送腔室还有利于提高设备的稼动率，从而提高设备产能。
天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目999次，专利信息4699条，此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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