北京
国家知识产权局信息显示，安徽富乐德科技发展股份有限公司申请一项名为“一种降低Showerhead孔洞粗糙度的清洗方法”的专利，公开号CN122822681A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种降低Showerhead孔洞粗糙度的清洗方法，该方法包括两个核心阶段：第一阶段通过有机清洗、酸洗等工艺完成沉积污染物的彻底去除，暴露洁净基体；第二阶段采用六组分化学抛光液对洁净基体进行均匀微抛光，实现峰处优先溶解、谷处受抑制的扩散层控制整平效应。两个阶段存在严格的顺序约束，须在基体完全洁净后方能进行化学抛光。本申请通过采用上述技术方案，能够系统性降低微孔内壁粗糙度，有效抑制粗糙度恶性循环，孔径变化量控制在预设阈值以内，清洗后洁净度达到半导体级工艺标准。
天眼查资料显示，安徽富乐德科技发展股份有限公司，成立于2017年，位于铜陵市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本74318.7598万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽富乐德科技发展股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目41次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息109条，此外企业还拥有行政许可49个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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