国家知识产权局信息显示,布鲁克斯自动化(德国)有限公司申请一项名为“用于存储和/或运输半导体制造物件的容器、方法和储存库”的专利,公开号CN122827016A,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本发明涉及一种用于存储和/或运输半导体制造物件(190),特别是晶片、芯片、衬底和光刻掩模(尤其是EUV掩模版)中的一个或多个的容器(100),该容器(100)包括上部件(110)和下部件(120),其中上部件(110)可逆地附接到下部件(120),该容器(100)还包括锁定机构(140,160),该锁定机构一体形成在上部件(110)和下部件(120)内,并被配置为限制上部件(110)和下部件(120)相对彼此的运动,其中锁定机构(140,160)包括销(112),在上部件(110)附接到下部件(120)的状态下,该销从上部件(110)和下部件(120)中的第一者延伸到上部件(110)和下部件(120)中的第二者中,其中锁定机构(140,160)还包括容纳在上部件(110)和下部件(120)中的第二者内的接合构件(122,162),该接合构件(122,162)被配置为选择性地限制销(112)相对于上部件(110)和下部件(120)中的第二者的运动,其中销(112)包括凹部(114),并且接合构件(122,162)被配置为与凹部(114)接合。本发明进一步提供了一种使用这种容器(100)存储和/或运输半导体制造物件(190)的方法(200),以及一种被配置为执行这种方法(200)并保持多个这种容器(100)的储存库。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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