北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备及其等离子体源”的专利，公开号CN122822679A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本公开提供一种半导体工艺设备及其等离子体源。等离子体源包括介质套筒、法拉第筒、线圈组件和点火驱动装置。介质套筒用于在使用时设置于半导体工艺设备的工艺腔室的顶部，且与工艺腔室连通；法拉第筒套设于介质套筒的外周，法拉第筒的周壁上开设有开口结构；线圈组件套设于法拉第筒的外周，并且线圈组件包括第一线圈以及活动件，活动件可活动地设置于第一线圈并与第一线圈电连接；点火驱动装置用于带动活动件在第一位置和第二位置之间活动；在第一位置的情况下，活动件位于开口结构中；在第二位置的情况下，活动件相比于在第一位置的情况下远离介质套筒。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1522次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5968条，此外企业还拥有行政许可341个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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