北京
国家知识产权局信息显示，精电光科（北京）科技有限公司取得一项名为“晶圆检测装置”的专利，授权公告号CN224803081U，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本申请涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及一种晶圆检测装置，包括扫描电镜和原子力显微镜，扫描电镜包括镜筒、物镜和样品室，物镜设置于样品室内，样品室内设置有用于承载待检测晶圆的样品台，物镜用于获取待检测晶圆表面的二维形貌图像；原子力显微镜设置于样品室内，原子力显微镜与样品台不接触，原子力显微镜包括悬臂和安装于悬臂端部的探针，探针用于获取待检测晶圆的三维结构。本申请中，原子力显微镜与样品台不接触，有效隔绝样品台振动与热量向原子力显微镜的传递，降低振动噪声与热膨胀失配导致的测量误差。悬臂采用三种不同安装方式，可适配常规晶圆表面、边缘区域、深腔结构等不同检测场景，消除检测盲区，提升装置适用范围。
天眼查资料显示，精电光科（北京）科技有限公司，成立于2024年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，精电光科（北京）科技有限公司专利信息6条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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