国家知识产权局信息显示,北京中科科仪光电科技有限公司申请一项名为“一种真空溅射镀膜方法”的专利,公开号CN122811731A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本发明涉及一种真空溅射镀膜方法,属于磁控溅射技术领域,解决了磁场范围调整和靶材的夹装分别操作,操作繁琐、靶材的供电不稳定、离子生成机构无法适用于多种规格的靶材,通用性差以及夹臂环可能导致靶材掉落的问题之一。本发明的真空溅射镀膜方法包括:步骤A:装置初始化;步骤B:抽气;步骤C:准备高压电源参数;步骤D:镀膜;步骤E:停机。本发明的镀膜方法利用靶材座单元的夹臂环的外驱齿带动第一传动轮转动,进而经从动轴杆驱动第二传动轮转动,第二传动轮带动转环转动,从而实现遮蔽组件与靶材座单元的同步联动调节,实现了磁场范围与靶材规格的同步匹配调整,操作简便。
天眼查资料显示,北京中科科仪光电科技有限公司,成立于2023年,位于北京市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本3500万人民币。通过天眼查大数据分析,北京中科科仪光电科技有限公司参与招投标项目47次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息22条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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