国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司取得一项名为“机台管理系统及光刻系统”的专利,授权公告号CN224803366U,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本实用新型涉及一种机台管理系统及光刻系统,涉及半导体生产技术领域,机台管理系统包括机台服务装置与多个量测机台,机台服务装置获取量测机台量测的光刻制程的量测数据并对量测数据进行分析处理,基于量测数据对光刻制程的光刻机台进行合规分析。由于不同量测机台中不同参数的量测数据都通过机台服务装置进行处理,只需要一个管理人员管理机台管理系统即可,大幅度降低了人工成本,通过机台服务装置收集量测数据收集准确率高,避免了人为记录导致的信息错误,并且所有的量测数据均被处理器接收,管理人员可以即时查询分析结果,显著提高了光刻机台合规验证的准确性和可靠性。
天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本223464.5597万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目657次,财产线索方面有商标信息54条,专利信息1846条,此外企业还拥有行政许可35个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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