北京
国家知识产权局信息显示，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请一项名为“基于SD6000-vbc14砂轮的12英寸晶圆精磨工艺优化方法”的专利，公开号CN122807709A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种基于SD6000-vbc14砂轮的12英寸晶圆精磨工艺优化方法，该方法包括：选择具有自锐化特性和长使用寿命的SD6000-vbc14型金刚石砂轮作为精磨用砂轮；配置适配设备并设定空切量、主轴转速及台盘转速；采用多阶进给策略进行精磨加工，第一阶段高速去除宏观起伏，第二阶段中速精确调整厚度分布，第三阶段低速完成精整；精磨结束后执行光磨处理以释放表面应力；完成后以受控逃逸速度使砂轮脱离晶圆表面，防止边缘崩裂；建立闭环监控系统实时采集加工数据并动态调整工艺参数，实现参数自适应控制。本申请通过上述技术方案，能够实现砂轮使用寿命大幅延长、加工成本显著降低、精磨后厚度公差控制在预设范围内、连续批量加工良率维持在预设良率阈值以上的技术效果，满足再生硅片精磨对高良率、低成本、长寿命的综合要求。
天眼查资料显示，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，成立于2019年，位于铜陵市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本123009.7159万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息16条，专利信息178条，此外企业还拥有行政许可36个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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