国家知识产权局信息显示,江苏昕感科技有限责任公司取得一项名为“一种腔体破空辅助供气管路”的专利,授权公告号CN224801461U,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本实用新型涉及半导体设备技术领域,尤其是一种腔体破空辅助供气管路,包括:用于输送破空气体的主管道;在所述主管道上连通有控制管道,所述控制管道的另一端分接有多个分支管道,所述分支管道连通至腔室中;其中,在所述控制管道上安装有调压阀,各所述分支管道上均安装有止逆过滤机构,本实用新型通过增设辅助供气管路,以有效解决了腔体破空中断的技术难题;具体的,由新接入的主管道连接至控制管道后分支出多个独立的分支管道,每个分支管道均可单独为一个腔室供应气体进行破空,该设计巧妙地绕开了原腔体自带破空气路的压力监测与联锁保护机制,从根本上杜绝了因压力超载而自动切断气源的现象,从而保证了破空过程的稳定性。
天眼查资料显示,江苏昕感科技有限责任公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本35000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏昕感科技有限责任公司参与招投标项目7次,专利信息46条,此外企业还拥有行政许可50个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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