北京
国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（四川）有限公司申请一项名为“一种半导体处理系统及其方法”的专利，公开号CN122825748A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体处理系统及其方法，该系统包含：传输腔；工艺腔，其与所述传输腔连接，所述工艺腔包含至少两个处理单元，各个处理单元之间相互物理隔离，每个处理单元中设置有两个处理台，所述处理台用于承载基片；机械手装置，其设置于所述传输腔内，所述机械手装置包含可互换位置的至少两个机械手结构，各个机械手结构的高度不同，每个机械手结构单次可传输至少两个基片。其优点是：该系统可在极大减少传片次数、保障高产能与降低污染风险的情况下，保证各个基片处理效果的一致性。
天眼查资料显示，中微半导体设备（四川）有限公司，成立于2025年，位于成都市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本100000万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（四川）有限公司参与招投标项目25次，此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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