北京
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来源：问董秘
投资者提问：
请问公司，在先进制程领域里，HARP工艺比传统TEOS工艺的优势在哪？HARP工艺里，臭氧发生器是否为核心系统之一？
董秘回答(北方华创SZ002371)：
您好！HARP是基于臭氧-TEOS体系的热CVD工艺，采用无等离子体热反应机制，在高深宽比结构的间隙填充与保形覆盖方面表现优异，适用于特定介质填充场景。臭氧作为关键反应气源由配套发生器提供，整机工艺能力依赖多模块协同实现，并非由单一部件决定。感谢关注！
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