中科飞测申请误差确定方法相关专利，半导体量测平衡误差补偿的效率与精度

来源：新浪证券-红岸工作室

9月24日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“误差确定方法、量测系统及存储介质”的专利。申请公布号为CN122798712A，申请号为CN202610813139.0，申请公布日期为2026年9月22日，申请日期为2026年6月5日，发明人刘欢敏、吕帅、吕肃、陈鲁，专利代理机构深圳鼎合诚知识产权代理有限公司，专利代理师郭燕、彭家恩，分类号G06T7/00、G06V10/764、G06V10/80、G06V10/774、G06V10/776、H10P74/20。

专利摘要显示，本申请公开了一种误差确定方法、量测系统及存储介质，属于半导体技术领域。该方法包括：对每个第一待测物进行多角度量测，获取多个第一量测数据；基于对应的第一量测图像，分别确定各个第一标记的第一特征向量；以及确定各个第一标记对应的第一系统误差；基于多个第一特征向量及其对应的第一系统误差，对初始预测模型进行迭代训练得到目标预测模型；对每个第二待测物进行单角度量测，获取多个第二量测数据；基于对应的第二测量图像，分别确定各个第二标记对应的第二特征向量，并将多个第二特征向量分别输入目标预测模型，确定相应的预测系统误差。本申请能够在保证误差补偿效率的同时，保障确定出的系统误差的精度，实现吞吐量和精度之间的平衡。

中科飞测是国内领先的集成电路检测量测设备核心供应商，拥有自主可控的核心技术壁垒。公司成立于2014年12月31日，于2023年5月19日登陆上海证券交易所，注册及办公所在地均为广东省深圳市。

公司主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，覆盖半导体检测、半导体设备、HBM概念三大热门概念板块。

2026年上半年，中科飞测实现营业收入9.41亿元，在27家半导体设备行业样本企业中排名第12位，同期行业营收第一名北方华创达201.61亿元、第二名中微公司为66.91亿元，行业平均营收21亿元，行业中位数为8.97亿元。营收结构方面，检测设备贡献6.41亿元占比68.17%，量测设备贡献2.66亿元占比28.22%，服务及其他收入3348.72万元占比3.56%，软件收入53.1万元占比0.06%。当期公司实现净利润-1.27亿元，行业排名26/27，同期行业净利润第一名北方华创达32.29亿元、第二名中微公司为27.97亿元，行业平均净利润4.99亿元，行业中位数为1.57亿元。

指标类别 具体指标 中科飞测2026年上半年数值 行业对标情况 营收表现 营业收入 9.41亿元 行业排名12/27，行业均值21亿元、中位数8.97亿元，头部企业北方华创、中微公司分别为201.61亿元、66.91亿元 营收结构 检测设备收入 6.41亿元 占总营收比重68.17% 营收结构 量测设备收入 2.66亿元 占总营收比重28.22% 营收结构 服务及其他收入 3348.72万元 占总营收比重3.56% 营收结构 软件收入 53.1万元 占总营收比重0.06% 盈利表现 净利润 -1.27亿元 行业排名26/27，行业均值4.99亿元、中位数1.57亿元，头部企业北方华创、中微公司分别为32.29亿元、27.97亿元

深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种卡盘发明专利实质审查的生效、公布CN202611179734.X2026-08-05CN122679879A2026-09-01张鹏斌、仇志远、王福旺、陈鲁2一种叠层晶圆中心偏移量测量方法及相关装置发明专利公布CN202611169872.X2026-08-03CN122729886A2026-09-11金争、代富贵、盛浩、陈鲁3半导体版图与光学图的对齐方法、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202611001185.72026-07-07CN122636675A2026-08-25齐鑫、张鹏斌、李楠楠、陈鲁4一种螺旋扫描坐标逆向映射方法及相关产品发明专利公布CN202610992454.42026-07-03CN122736931A2026-09-11陈鲁、黄有为、张龙、徐雨哲5消相干照明系统以及通过消相干获取照明光的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610977127.12026-07-01CN122632464A2026-08-25陈鲁、黄有为、杨雪芳、赵哲承6一种机台的晶圆产能计算方法、计算装置及计算系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610963067.82026-06-30CN122594625A2026-08-18荣楠、陈鲁、金炼7面型计算系统和面型计算方法发明专利公布CN202610893239.92026-06-22CN122432442A2026-07-21郁健、马砚忠、余涛、陈鲁8移相同步监控补偿的干涉仪及控制方法发明专利授权CN202610870545.02026-06-16CN122384663B2026-09-08尉佩、马砚忠、陈鲁9光纤的光场检测装置和光场检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610868530.02026-06-15CN122671126A2026-09-01路长庚、莫云杰、吕肃、陈鲁10误差确定方法、量测系统及存储介质发明专利公布CN202610813139.02026-06-05CN122798712A2026-09-22刘欢敏、吕帅、吕肃、陈鲁11焊柱高度测量方法、芯片倾角测量方法及焊柱高度测量系统发明专利公布CN202610787831.02026-06-02CN122544657A2026-08-11马砚忠、陈鲁、张越12多层焊柱的高度测量方法、芯片倾角测量方法及多层焊柱的高度测量系统发明专利公布CN202610788009.62026-06-02CN122641323A2026-08-25陈鲁、马砚忠、张越13不同角度下量测点的定位方法、定位系统、小角散射系统和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610748017.82026-05-27CN122612641A2026-08-21陈鲁、马砚忠、李鹰14扫描电子显微镜发明专利实质审查的生效、公布CN202610702437.22026-05-20CN122638408A2026-08-25吕肃、陈鲁、朱春涛15一种标准片及掩膜版发明专利授权CN202610653251.22026-05-13CN122267035B2026-09-08吕肃、蒋路翔、陈鲁16一种掩膜版缺陷检测方法和相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610653893.22026-05-12CN122492647A2026-07-31陈鲁、黄有为、杨坚17一种图像对位方法、装置及存储介质发明专利授权CN202610637168.62026-05-11CN122223079B2026-08-11张鹏斌、韩欣、潘浩、齐鑫、陈鲁18芯片角度调整方法、装置及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610612432.02026-05-06CN122497326A2026-07-31李炎、李鹰、马砚忠、陈鲁19几何参数标定方法、计算机层析成像方法和系统、介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610551857.52026-04-23CN122573798A2026-08-14李炎、邹翔、马砚忠、陈鲁20一种检测系统及其自动调焦方法、存储介质发明专利授权CN202610541586.52026-04-23CN122120580B2026-09-08尉佩、马砚忠、陈鲁21产品的检测方法、检测系统和服务器发明专利实质审查的生效、公布CN202610451627.12026-04-07CN122415314A2026-07-17陈明山、黄有为、陈鲁22渲染模型的校准方法、校准系统及存储介质发明专利公布CN202610449883.72026-04-07CN122435107A2026-07-21柯贤华、黄有为、陈鲁23一种大尺寸曲晶圆形貌测量装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610429525.X2026-04-02CN122305979A2026-06-30孙晶露、马砚忠、邓忠寒、陈鲁24金属薄膜光声信号零点测量方法、装置、设备及存储介质发明专利公布CN202610399241.02026-03-27CN122430249A2026-07-21白园园、崔舒涵、马砚忠、陈鲁25缓存装置、检测设备及检测工艺发明专利授权CN202610378049.32026-03-26CN121941304B2026-06-19马砚忠、余涛、王见、陈鲁26波场计算方法和装置、散射图像获取方法及可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610361993.82026-03-23CN122259619A2026-06-23温朗枫、马砚忠、张兴民、陈鲁27一种成像装置及成像方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610351971.32026-03-20CN122238387A2026-06-19李炎、王旭、马砚忠、陈鲁28量测设备及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610347630.92026-03-20CN122258790A2026-06-23袁明波、王见、马砚忠、陈鲁29量测设备及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610347632.82026-03-20CN122258791A2026-06-23陈鲁、袁明波、马砚忠、王见30扫描电子显微镜工作距离的校准方法、扫描电子显微系统和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610203146.92026-02-11CN122108011A2026-05-29邵双方、吕肃、陈鲁31结构参数反演方法、测量设备及计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610203714.52026-02-11CN122170767A2026-06-09李炎、周中正、温朗枫、马砚忠、陈鲁32一种膜厚虚拟量测方法、模型训练方法及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610121250.32026-01-28CN122153281A2026-06-05任泽林、田旷达、庄旭、张嵩、陈鲁33一种根因定位方法、根因定位系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610120891.72026-01-28CN122220959A2026-06-16田旷达、杨思晓、张嵩、陈鲁34开关防护装置及X射线检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610097307.02026-01-23CN122050905A2026-05-15李炎、邢立娜、马砚忠、陈鲁35成像系统以及成像方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610094342.72026-01-23CN122131550A2026-06-02姚本溪、郝柏尊、吕肃、陈鲁36成像方法以及成像系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610098261.42026-01-23CN122131551A2026-06-02吕肃、姚本溪、郝柏尊、陈鲁37扫描电子显微镜对中调节方法及相关装置发明专利公布CN202610043765.62026-01-13CN121839511A2026-04-10吕肃、许涛、陈鲁38一种图像测量系统发明专利公布CN202512060296.72025-12-31CN121837239A2026-04-10刘健鹏、黎广言、张鹏斌、陈鲁39一种图像角度确定方法及图像角度确定装置、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512060747.72025-12-31CN121861000A2026-04-14王启坤、黎广言、张鹏斌、陈鲁40一种光声测量过程中的刀口校准方法发明专利实质审查的生效、公布CN202512058972.72025-12-31CN121917461A2026-04-24马砚忠、戴鹭楠、陈鲁41椭偏测量的修正方法、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512060067.52025-12-31CN121996924A2026-05-08马砚忠、高浩哲、陈鲁42一种聚焦偏移标定方法、系统以及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512036837.22025-12-30CN121720376A2026-03-24吕肃、商橙、陈鲁43膜层测量装置和膜层测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202512044490.62025-12-29CN121720986A2026-03-24孙韬、马砚忠、白园园、陈鲁44旋转补偿器及光学测量系统发明专利实质审查的生效、公布CN202512016763.62025-12-29CN121806272A2026-04-07马砚忠、石海林、陈鲁45一种晶圆字符串检测方法及检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512023232.X2025-12-29CN121903982A2026-04-21董坤玲、杨亭、张鹏斌、陈鲁46膜层测量方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511985534.92025-12-25CN121855402A2026-04-14陈鲁、马砚忠、孙韬、郑麦杰47一种光路装置、光学检测方法以及检测设备发明专利授权CN202511960845.X2025-12-24CN121384814B2026-03-31赵康俊、张龙、黄有为、陈鲁48一种光路装置、光学检测方法以及检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610143618.62025-12-24CN121918317A2026-04-24陈鲁、黄有为、张龙49一种待测点的位置确定方法及光学检测系统、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511958659.22025-12-23CN121746485A2026-03-27胡荣镇、姜菲菲、贺金龙、陈鲁50半导体量测系统和X射线束定位方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511951765.82025-12-22CN121855427A2026-04-14马砚忠、陈鲁、李炎、白园园、崔建华