北京
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有投资者在互动平台向恒星科技提问：“承明光电与河南科学院合作，联合研发CVD(气相沉积)和ALD(原子层沉积)技术所需前驱体材料，覆盖铝基、镓基、硅基、氨基、氧族等100余种高纯电子化学品。目标是支撑7nm/5nm/3nm先进制程，以及第三代半导体(GaN)、第四代半导体(氧化镓)关键薄膜生长？”
针对上述提问，恒星科技回应称：“尊敬的投资者您好，经了解，承明光电委托河南省科学院碳基复合材料研究院主要进行MO源系列电子级产品及ALD前驱体材料的研发，目前前述项目尚在实验研发阶段。感谢您对公司的关注！”
本文源自：市场资讯
作者：公告君
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