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观点网讯：近日，中关村发展集团投资企业云汉星驰自主研发的“基于CLBO的高功率深紫外193nm窄线宽皮秒激光系统（型号：Mizar-VUV-280）”入选《北京市2026年第三批首台（套）重大技术装备目录（半导体领域）》。
云汉星驰成立于2023年，专注先进制程半导体领域激光器产品的研发和制造，以全固态激光器技术为核心，已推出纳秒、皮秒、飞秒激光器四大系列共八款产品，波长覆盖1064nm至266nm。
中关村发展集团旗下中关村资本于2024年投资云汉星驰，用于其激光器在量检测等半导体设备的基台验证、量产工作。
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