北京
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国家知识产权局信息显示，铠侠股份有限公司申请一项名为“基板收纳容器的清洗方法及基板收纳容器的清洗装置”的专利，公开号CN122787246A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，根据一个实施方式，基板收纳容器的清洗方法包括：使用含有有机胺的溶液，进行去除附着于收纳半导体基板的基板收纳容器的表面的灰尘的清洗处理。所述方法还包括：使用清洗水，进行去除附着于基板收纳容器的表面的溶液的冲洗处理。所述方法还包括：进行去除附着于基板收纳容器的表面的清洗水的水滴的除水处理。所述方法还包括：进行将基板收纳容器干燥的干燥处理。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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