北京
国家知识产权局信息显示，上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“静电吸盘背面冷却气体防过充装置及静电吸盘”的专利，公开号CN122803668A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本发明提供了一种静电吸盘背面冷却气体防过充装置及静电吸盘，气体调节模块可对冷却气体实现总流量调节；气体缓冲模块包括一个或两个气体缓冲单元，所述气体缓冲单元包括限流通道和重力限流件，所述限流通道竖直设置，且设置于所述冷却气道上，所述重力限流件活动设置于所述限流通道内，冷却气体流经所述限流通道时，所述重力限流件在自身重力与冷却气体推力的共同作用下发生位移，以对冷却气体起到限流作用，能够抑制供气初期压力过冲；压力检测调控模块采集气体缓冲模块下游靠近静电吸盘一侧冷却气道内的实时气压，形成闭环控制，动态驱动气体调节模块调整供气流量。
天眼查资料显示，上海邦芯半导体科技有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本6166.6668万人民币。通过天眼查大数据分析，上海邦芯半导体科技有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目30次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息314条，此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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