恒运昌真空取得阻抗匹配装置相关专利，分时分级确定频率，提升多级脉冲阻抗匹配性能

来源：新浪证券-红岸工作室

9月20日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请一项名为“阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质”的专利，授权公告号CN122431476B，授权公告日为2026年9月18日。申请公布号为CN122431476A，申请号为CN202610866535.X，申请公布日期为2026年9月18日，申请日期为2026年6月16日，发明人林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅，专利代理机构北京棋拾知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师杨雪婷，分类号G05F1/12、H01J37/32、H03K5/04、H03K5/125。

专利摘要显示，本申请公开了一种阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质。该方法包括：获取当前原始功率信号，原始功率信号在每个信号周期中包括多个预设的分级脉冲；针对各分级脉冲，分别根据对应的分级连续频率范围内的多个分级频率形成多个分级扫频信号；计算各分级扫频信号与对应的分级脉冲之间的特征差异，并根据特征差异确定各分级脉冲各自对应的工作频率；在各分级脉冲对应的输出时段内，使用该分级脉冲对应的工作频率执行阻抗匹配处理。通过对不同分级脉冲分别确定工作频率并分时执行阻抗匹配，提高了多级脉冲场景下阻抗匹配的自适应能力、准确性和稳定性。

恒运昌是国内等离子体电源领域专精特新领先企业，核心产品覆盖多类等离子体电源及配套装置，具备自主研发技术壁垒。公司成立于2013年3月19日，将于2026年1月28日登陆上海证券交易所，注册及办公地址均位于广东省深圳市。

公司主营业务为等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源及相关配件的研发、生产、销售与技术服务，同时引进真空获得、流体控制等领域核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，概念板块涵盖小盘均衡、专精特新、半导体设备。

2026年上半年，恒运昌实现营业收入2.78亿元，在27家同行业公司中排名第23位，同期行业营收第一名北方华创达201.61亿元、第二名中微公司达66.91亿元，行业平均营收为21亿元，行业中位数为8.97亿元；营收结构中自研产品贡献2.43亿元，占比87.20%，引进产品实现收入3136.29万元，占比11.27%，技术服务收入427.57万元，占比1.54%。当期公司实现净利润5235.05万元，行业排名第18位，同期行业净利润第一名北方华创为32.29亿元、第二名中微公司为27.97亿元，行业平均净利润为4.99亿元，行业中位数为1.57亿元。

指标类别具体指标恒运昌2026年上半年数值行业对标/平均/中位数数值行业排名/总样本数营收表现营业收入2.78亿元行业平均21亿元、行业中位数8.97亿元，头部北方华创201.61亿元、中微公司66.91亿元23/27营收结构自研产品收入及占比2.43亿元，占比87.20%营收结构引进产品收入及占比3136.29万元，占比11.27%营收结构技术服务收入及占比427.57万元，占比1.54%盈利表现净利润5235.05万元行业平均4.99亿元、行业中位数1.57亿元，头部北方华创32.29亿元、中微公司27.97亿元18/27

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1射频信号校正方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610866517.12026-06-16CN122488883A2026-07-31林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅2阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质发明专利授权CN202610866535.X2026-06-16CN122431476B2026-09-18林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅3阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质发明专利授权CN202610866531.12026-06-16CN122387258B2026-09-18林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅4射频电源的最大梯度角确定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610655069.02026-05-13CN122218558A2026-06-16林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿5增益定标方法、动态阻抗测试方法、设备及介质发明专利授权CN202610655279.X2026-05-13CN122172062B2026-08-07林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿6射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610502496.52026-04-15CN122372552A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛7射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610503991.82026-04-15CN122372554A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛8射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610503110.22026-04-15CN122372553A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛9用于等离子体源的冷却结构的灌封方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610347546.72026-03-19CN122560300A2026-08-14范天赐、丁鹏、刘景锋、麦峻铭、何志军、乐卫平10远程等离子体源外观专利授权CN202630123945.62026-03-19CN310212598S2026-09-18范天赐、丁鹏、刘景锋、麦峻铭、何志军、乐卫平11离子源外观专利授权CN202630089593.72026-02-27CN310129866S2026-08-04郑孟昌、吴基锴、黄晓东12一种基于MEMS流量传感器的封装结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511718126.72025-11-21CN121783294A2026-04-03乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰13一种分流式宽量程的流量传感器实用新型授权CN202522472583.42025-11-21CN224719473U2026-09-04乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰14一种主旁路分流的流量传感器实用新型授权CN202522472586.82025-11-21CN224719472U2026-09-04宋秋明、乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、程思思、贾原、陈韵平、刘涛、张文杰15一种紧凑型的流量传感器实用新型授权CN202522472579.82025-11-21CN224772402U2026-09-18伍焕灵、乐卫平、张文伟、陈宇龙、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰16射频电源外观专利授权CN202530576887.82025-09-26CN309908228S2026-04-10吴基锴、黄晓东17一种多腔体射频处理装置实用新型授权CN202522043053.82025-09-23CN224745700U2026-09-11林伟群、黄国华、洪涛18信号处理电路及信号检测系统实用新型授权CN202522040236.42025-09-22CN224626625U2026-08-11林伟群、郭梓涵19石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备发明专利公布CN202511222075.92025-08-28CN120984635A2025-11-21乐卫平、刘涛、谢幸光、阳先峰、范天赐、吴凤波20悬浮电极电路及能够应用于石墨舟清洗的设备实用新型授权CN202521858964.X2025-08-28CN224554317U2026-07-24乐卫平、刘涛、阳先峰、范天赐、谢幸光、吴凤波21能够用于石墨舟清洗的设备实用新型授权CN202521864737.82025-08-28CN224687475U2026-08-28乐卫平、刘涛、阳先峰、范天赐、谢幸光、吴凤波22电感耦合式离子源外观专利授权CN202530508853.52025-08-27CN309893090S2026-04-03范天赐、杨博文、阳先峰23一种电感调节装置实用新型授权CN202521840110.92025-08-27CN224682914U2026-08-25范天赐、杨博文、阳先峰、钟燕24一种磁场封闭线圈实用新型授权CN202521837653.52025-08-27CN224708649U2026-09-01范天赐、杨博文、阳先峰、钟燕25一种离子能量控制装置及离子发生设备实用新型授权CN202521836892.92025-08-27CN224733874U2026-09-08范天赐、杨博文、阳先峰、钟燕26滤波电路及半导体工艺设备实用新型授权CN202521213325.82025-06-13CN224610789U2026-08-07杨佩铮、毛元韬27一种D类逆变器及射频电源实用新型授权CN202521178423.22025-06-10CN224329399U2026-06-05林桂浩、林伟群、龚城28基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器实用新型授权CN202520985855.82025-05-19CN224203290U2026-05-05林伟群、章兵29烧结散热板的功放电路板及其制造方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510637416.22025-05-16CN120456433A2025-08-08林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩30一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置实用新型授权CN202520974119.22025-05-16CN224203922U2026-05-05黄晓东、吴基锴、林伟群31烧结有散热板的功率放大器模块及射频电源实用新型授权CN202520974094.62025-05-16CN224356081U2026-06-12林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩32共模电感器、滤波电路及半导体工艺设备实用新型授权CN202520917900.62025-05-12CN224232456U2026-05-12杨佩铮、黄晓东33等离子体激发组件、电磁场产生装置及等离子体产生装置实用新型授权CN202520890439.X2025-05-07CN224192118U2026-05-01范天赐、刘涛34气体输送组件及等离子体产生装置实用新型授权CN202520890014.92025-05-07CN224192116U2026-05-01范天赐、刘涛35等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520899792.42025-05-07CN224205298U2026-05-05范天赐、刘涛36远程等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520898482.02025-05-07CN224356326U2026-06-12范天赐、刘涛37等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520889478.82025-05-07CN224356325U2026-06-12范天赐、刘涛38出气装置和等离子体处理设备实用新型授权CN202520890194.02025-05-07CN224384247U2026-06-19范天赐、刘涛39离子源外观专利授权CN202530220855.42025-04-22CN309611196S2025-11-18杨靖、乐卫平40匹配器外观专利授权CN202530200095.02025-04-14CN309612116S2025-11-18戴和新、乐卫平41电压采样电路和电压采样装置实用新型授权CN202520604431.22025-04-01CN224203286U2026-05-05林伟群、郭启亮42一种电感及射频设备实用新型授权CN202520470396.X2025-03-17CN223898122U2026-02-10戴和新、林伟群43一种电感结构及电感线圈安装模具实用新型授权CN202520470388.52025-03-17CN223911506U2026-02-13吴基锴、林伟群44一种电感结构实用新型授权CN202520461387.42025-03-17CN223911515U2026-02-13杨靖、林伟群45一种射频匹配器实用新型授权CN202520463818.02025-03-17CN223912462U2026-02-13黄晓东、林伟群46一种电感结构实用新型授权CN202520465236.62025-03-17CN223911491U2026-02-13吴基锴、林伟群47射频电源外观专利授权CN202530115868.52025-03-12CN309529756S2025-10-03郑孟昌、乐卫平48滤波器外观专利授权CN202530083855.42025-02-25CN309530166S2025-10-03黄晓东、乐卫平49滤波器外观专利授权CN202530083847.X2025-02-25CN309530165S2025-10-03黄晓东、乐卫平50双频匹配器外观专利授权CN202530083845.02025-02-25CN309530164S2025-10-03黄晓东、乐卫平