北京
国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“离子注入设备”的专利，公开号CN122781788A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请提供一种离子注入设备，离子注入设备包括工艺腔、传送腔和真空锁腔；还包括：阻隔板，阻隔板设置于传送腔与真空锁腔之间，阻隔板包括供基板通过的连通口；阀体，包括内腔和位于内腔相对两侧的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁位于内腔靠近真空锁腔的一侧，第二侧壁位于内腔靠近传送腔的一侧；阀体还包括至少贯穿第一侧壁的第一气孔，第一气孔与内腔连通；封堵件，封堵件至少部分位于第一气孔内，并部分封堵第一气孔。在本申请的离子注入设备中，通过设置封堵件对第一气孔进行部分封堵，改变了阀体排出气流的流向，使气流远离基板传输路径，降低颗粒附着风险，从而减少了基板表面的异常聚集。
天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目998次，专利信息4629条，此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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