国家知识产权局信息显示,光晋科技(合肥)有限公司取得一项名为“一种运用在半导体ESC的喷涂遮蔽装置”的专利,授权公告号CN224763347U,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本申请公开了一种运用在半导体ESC的喷涂遮蔽装置,涉及半导体ESC加工技术领域,包括外圈遮蔽铝环、连接尼龙板和夹持主轴,所述外圈遮蔽铝环包括底环板和侧板,用于遮蔽ESC的非喷涂区域;所述连接尼龙板包括面板、弧环A和弧环B,分别与外圈遮蔽铝环和夹持主轴可拆卸连接,且所述面板朝向ESC的一侧设有用于与ESC定位配合的突起。本申请通过外圈遮蔽铝环底环板和侧板的双重遮蔽结构,可全面覆盖ESC非喷涂区域,有效阻挡喷涂粉末渗入,避免非喷涂区污染;结合连接尼龙板的突起定位与各部件协同装配,能确保装置与ESC精准对齐,防止喷涂偏移;同时侧板散热孔可加速热量散发,减少高温涂层与铝环粘连,保障涂层边界规则性,提升整体喷涂质量。
天眼查资料显示,光晋科技(合肥)有限公司,成立于2016年,位于合肥市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本11100万人民币。通过天眼查大数据分析,光晋科技(合肥)有限公司参与招投标项目4次,专利信息31条,此外企业还拥有行政许可13个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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