北京
国家知识产权局信息显示，纳佰新（武汉）电子有限公司取得一项名为“一种用于卡盘清洁的吸附性薄膜”的专利，授权公告号CN224763092U，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于卡盘清洁的吸附性薄膜，属于半导体制造装备维护技术领域，包括粘接层和吸附层；其通过下层粘接层的强粘性，使得薄膜在清洁卡盘时能够牢固附着于晶圆表面；同时，通过将吸附层设置为微气泡结构，以利用封闭气泡和开口气泡的弹性形变，提高吸附层的延展性，以在使用时，通过外加压力作用下，利用吸附层表面开口气泡的形变增加吸附层的表面，填充局部空隙，从而提升吸附层与卡盘的实际接触面积，有利于捕获各类悬浮颗粒，确保薄膜的全覆盖清洁范围，提高吸附层的吸附效能。
天眼查资料显示，纳佰新（武汉）电子有限公司，成立于2023年，位于武汉市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本558.6215万人民币。通过天眼查大数据分析，纳佰新（武汉）电子有限公司财产线索方面有商标信息3条，专利信息5条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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