北京
国家知识产权局信息显示，华虹集成电路（成都）有限公司申请一项名为“改善SONOS Flash的ONO界面质量的方法”的专利，公开号CN122784088A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本申请提供一种改善SONOS Flash的ONO界面质量的方法，包括：步骤一，提供衬底，衬底分为CG区域和非CG区域；步骤二，在衬底上形成ONO叠层后，形成覆盖CG区域的光刻胶掩模层；步骤三，去除位于非CG区域的ONO叠层中的顶氧化层和氮化硅层；步骤四，去除光刻胶掩模层后，去除位于CG区域的ONO叠层中的顶氧化层、位于非CG区域的ONO叠层中的底氧化层以及底氧化层下方的垫氧化层；步骤五，实施湿法清洗工艺，去除衬底和氮化硅层的表面杂质。减少位于CG区域的氮化硅层受到的后续工艺的影响，改善其界面质量，提升器件阈值电压窗口。
天眼查资料显示，华虹集成电路（成都）有限公司，成立于2023年，位于成都市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2328858.310898万人民币。通过天眼查大数据分析，华虹集成电路（成都）有限公司参与招投标项目178次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息79条，此外企业还拥有行政许可133个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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