国家知识产权局信息显示,青岛云联智享信息技术有限公司申请一项名为“半导体器件的制备方法”的专利,公开号CN122784153A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本申请提供了一种半导体器件的制备方法,在衬底的第一器件区和第二器件区的衬底上形成栅极结构;在衬底上以及栅极结构的侧面和顶面形成掩膜层;去除第二器件区的栅极结构两侧的衬底上的掩膜层,并向下刻蚀衬底的部分深度,形成源漏凹槽;在源漏凹槽内形成源漏外延层,并在源漏外延层上形成依次堆叠的盖帽层和牺牲层;去除所述掩膜层及所述牺牲层。本申请工艺流程较为简单,且只需要在去除第二器件区的栅极结构两侧的衬底上的掩膜层时保护第一器件区即可,可节约一道光罩,降低了制备成本。
天眼查资料显示,青岛云联智享信息技术有限公司,成立于2023年,位于青岛市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛云联智享信息技术有限公司专利信息14条,此外企业还拥有行政许可1个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.