北京
国家知识产权局信息显示，荏远科技（无锡）有限公司取得一项名为“一种晶圆夹持位检测装置”的专利，授权公告号CN224772272U，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种晶圆夹持位检测装置，包括载体主盘，其端面中心开设有中心孔；光学摄像头穿设中心孔；透明定位模块嵌入中心孔且设配合槽；连接板连在载体主盘上，两端有延伸部，两个LED灯分别连在延伸部上；外壳覆盖在连接板上。该装置结构紧凑合理，透明定位模块设十字定位光标，能精确定位校准；夹持位中部设原点坐标，提供准确定位依据；载体主盘位于夹持位坐标原点上方，利于监测与布局；设无线通讯模块，可实时传输数据；开设减重孔，降低重量、改善应力分布；设储能部，提供稳定电源。可提高晶圆夹持精度和可靠性，满足半导体制造高精度需求。
天眼查资料显示，荏远科技（无锡）有限公司，成立于2021年，位于无锡市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本600万人民币。通过天眼查大数据分析，荏远科技（无锡）有限公司专利信息1条，此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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