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登上国际顶刊!国产光刻胶取得重大创新,打开先进芯片制造新路径

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北京时间9月17日,国内产学研联合攻关传来重磅消息,九峰山实验室联合华中科技大学等单位,研发出一款一材多用的新型光刻胶体系,相关成果发表于国际权威期刊《自然·通讯》,消息一经发布,迅速在半导体行业圈内刷屏。

光刻胶是芯片制造的核心关键材料,相当于芯片生产的“底片”。芯片在光刻工序中,依靠光刻胶感光发生化学变化,把电路图案转移到晶圆之上。传统光刻胶功能单一,一款胶只能实现一种图案效果,想要生产不同类型芯片,工厂就必须采购多款不同型号光刻胶,采购、存储、验证的成本居高不下,长期以来高端光刻胶市场被海外企业主导。



此次国内团队的创新点在于:同一款光刻胶,只需要调整曝光剂量,就可以切换出正性、负性、边缘保留型三种完全不同的芯片图案。不需要更换材料,只改变曝光参数,就能适配多种工艺场景,极大简化芯片工厂的物料管理,降低生产的综合成本。

业内专家解读,这项技术最大价值,在于给国内芯片制造提供全新的工艺路线。在先进封装、功率芯片、模拟芯片等场景,可以大幅减少光刻胶物料种类,减少产线切换带来的时间损耗。尤其对于国内中小晶圆厂,能够降低物料备货压力,提升产线柔性。



不过也要客观看到,目前该成果还处在实验室科研阶段,距离大规模产业化落地还有一段距离。光刻胶不只是配方,还需要配套的纯度提纯、涂布工艺、产线验证,要经过晶圆厂多轮测试,才能真正走向量产。

放眼国内半导体材料赛道,近几年持续多点突破。从高纯靶材、特种气体,到光刻胶、半导体石英材料,国内科研与产业团队不断啃下一个个材料卡点。但高端光刻胶依旧是整个产业链最难攻克的关口之一,海外企业积累数十年的配方与工艺壁垒,依然需要持续攻关。



半导体行业有一句共识:芯片制造,七分靠设备,三分靠材料。材料的自主可控,是国产芯片产业链安全的根基。一项实验室的创新成果,虽然不能立刻实现全面替代,但代表国内科研已经摸到了前沿创新的赛道,为后续产业化打下坚实基础。

总结

光刻胶全球市场份额(按品类+厂商,2025-2026行业数据)

光刻胶按分辨率分为:G/i线(低端)、KrF(中端)、ArF干式/浸没式(高端),不同档次市场格局差异巨大。

一、全球厂商份额(整体光刻胶市场)

• JSR:约28%

• 信越化学:约24%

• 东京应化(TOK):约18%

• 其余(含国内厂商、三星SDI等)合计约30%

分档次格局(重点)

1. ArF浸没式(最先进,用于先进制程)

海外厂商垄断,JSR、信越、东京应化三家占据接近95%市场,国产处于研发与小批量验证阶段,市占率很低。

2. KrF光刻胶(成熟制程主力)

海外厂商依旧主导;国内企业已经实现小批量导入,全球市占率大概5%以内。

3. G/i线光刻胶(功率半导体、面板、成熟芯片)

国产进展最快,国内厂商全球占比大约15%,在国内本土市场份额更高,已经批量供货。

二、国内本土市场占比(中国晶圆厂采购)

• G/i线光刻胶:国产约20%+,持续提升

• KrF光刻胶:国产仅个位数,逐步送样验证

• ArF系列高端光刻胶:国产化率极低,还在攻关阶段



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