北京
国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“离子注入设备及其控制方法、离子注入系统”的专利，公开号CN122762550A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请公开了一种离子注入设备及其控制方法、离子注入系统。离子注入设备包括工艺腔室、储备腔室、真空连接管道、阀门装置、真空度传感装置和控制装置，工艺腔室为真空腔室；储备腔室的数量为多个，储备腔室为真空腔室，储备腔室的真空度大于工艺腔室的真空度；多个储备腔室均通过真空连接管道与工艺腔室连接；阀门装置设置在真空连接管道上，阀门装置用于控制工艺腔室与储备腔室的连通状态；真空度传感装置设置在工艺腔室内，真空度传感装置用于监测工艺腔室的真空度参数；控制装置分别与阀门装置以及真空度传感装置电连接，控制装置用于根据真空度参数调整阀门装置的打开或关闭，以及储备腔室的连通数量。本申请提高了半导体器件的稳定性。
天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目997次，专利信息4629条，此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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