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真空泵油是一种专门为真空获得设备（真空泵）量身定制的特种润滑油 。它不是普通的机油、液压油或齿轮油，而是经过特殊配方设计的专用油品 。
真空泵油在真空泵中承担着润滑、密封、冷却、清洁及真空介质等，主要分为矿物油型和合成型两大类：
1、基础油
矿物油：由石油馏分经深度精制得到，成本较低
合成油：合成烃（PAO）、酯类油、全氟聚醚（PFPE）、硅油类
2、添加剂
抗氧化剂
延缓油液氧化，保证长期使用中的性能稳定，防止油质劣化
抗泡剂（泡沫抑制剂）
消除真空泵运转过程中产生的泡沫，避免引起的真空度波动和抽气效率降低
油性剂和极压抗磨剂
增强油膜的吸附性和强度，在高真空下金属摩擦表面形成保护膜防止磨损
防锈防腐蚀剂
在金属表面形成防腐膜，防止因吸入腐蚀性气体和水分导致的系统腐蚀
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