国家知识产权局信息显示,合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“一种曝光装置和曝光设备”的专利,公开号CN122755344A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本公开提供一种曝光装置和曝光设备,曝光装置包括具有开口的腔体以及设置在腔体内的用于承载第一基板的第一承载平台、用于承载第二基板且位于第一承载平台远离开口一侧、的第二承载平台、用于将第一基板运输至第二承载平台上,和/或将第二基板运输至第一承载平台上的传送组件、气体导流部和空调系统,导流部位于第一基板背离第一承载平台的一侧且气体导流部与空调系统连接,空调系统通过气体导流部向第一承载平台上的第一基板传输第一预设温度的气体,本申请中通过在曝光装置中增加气体导流部,稳定基板温度,使得产品TP电路图案稳定,并且气体导流部是连接曝光装置内已有的空调系统,一方面使得温度控制更加精准,另一方面可以节省设备成本。
天眼查资料显示,合肥维信诺科技有限公司,成立于2018年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目997次,专利信息4629条,此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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