国家知识产权局信息显示,山西中电科电子装备有限公司取得一项名为“一种CVD炉用双尾气处理系统”的专利,授权公告号CN224757560U,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本实用新型一种CVD炉用双尾气处理系统,属于CVD炉尾气处理技术领域;解决了现有CVD炉在SiC涂层工艺中产生的易燃易爆工艺性尾气在高温下易与空气混合发生燃爆风险的问题;技术方案是:包括若干个CVD炉,每个CVD炉均通过真空管路连接有双尾气控制阀,真空管路与双尾气控制阀之间连通有真空泵组,双尾气控制阀包括空气阀和工艺阀,空气阀和工艺阀三通尾气管路连通于真空泵组,空气阀远离真空泵组的一端连通于厂级空气尾气管路,工艺阀远离真空泵组的一端连通于厂级工艺尾气管路,厂级工艺尾气管路上连通有废气处理装置,空气阀和工艺阀均电连接于CVD炉控制系统,空气阀和工艺阀不同时开启;本实用新型应用于CVD炉尾气处理。
天眼查资料显示,山西中电科电子装备有限公司,成立于2010年,位于太原市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本39040万人民币。通过天眼查大数据分析,山西中电科电子装备有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目87次,专利信息200条,此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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