IT时代网9月15日消息,阿斯麦管理层透露,正研究在2028年生产超过110部极紫外(EUV)光刻机,以应对AI带来的旺盛需求。公司早前表示,2027年EUV产能已接近售罄,当年可生产至少80部,并计划在2028年将产量提升约30%。
目前需求依旧强劲,大部分新订单的交付已排到2028年。阿斯麦扩大EUV产量的主要瓶颈并非供应链,而是光刻机自身的组装速度。摩根大通分析师预计,英特尔将在2027年重新成为阿斯麦的重要客户,马斯克筹建中的Terafab也被列为发展中的新客户。
在下一代高数值孔径(High-NA)EUV光刻机方面,客户包括英特尔、三星电子与SK海力士等。英特尔已在其18A工艺上提前使用这一尖端设备,其晶圆代工部门此前宣布,采用High-NA EUV技术处理的晶圆累计量已突破100万片。三星与SK海力士计划在2028年启用新设备,台积电则相对保守,预计2030年才投入High-NA EUV。
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注:本文中包含AI辅助创作的内容。
编辑:林一舟
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