国家知识产权局信息显示,广东国科电磁新技术有限公司申请一项名为“用于复合集流体制造的等离子体沉积工艺”的专利,公开号CN122727742A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明涉及电子专用材料制造技术领域,公开了一种用于复合集流体制造的等离子体沉积工艺,包括:利用‑140℃盘管冷凝捕集水蒸气;释放氩离子束轰击基底表面;开启托盘内15mT永磁铁约束放电区域;在0.15Pa至0.35Pa工作压强下,控制高纯铬靶和高纯铜靶的功率密度,在基底表面依次沉积铬过渡层与铜导电层并保持基底温度为40℃至70℃,本发明通过磁场空间拓扑耦合建立约束通道,均衡靶材刻蚀速率以延长寿命,实现无机械扫描均匀沉积,避免微粒污染,配合深冷捕集降低水分压并阻断次生氧化,提升层间抗剥离能力与导电性能。
天眼查资料显示,广东国科电磁新技术有限公司,成立于2020年,位于广州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析,广东国科电磁新技术有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目12次,财产线索方面有商标信息51条,专利信息23条,此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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