北京
国家知识产权局信息显示，上海稷以科技有限公司取得一项名为“一种等离子体腔石英顶盖清洁装置及等离子体工艺设备”的专利，授权公告号CN224724626U，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本实用新型涉及等离子体源技术领域，更具体地说，涉及一种等离子体腔石英顶盖清洁装置以及等离子体工艺设备。本装置至少包括射频线圈、法拉第平板电极以及单刀双掷射频开关：所述射频线圈，用于接收射频能量以激发等离子体；所述法拉第平板电极，设置于所述射频线圈与石英顶盖之间；所述单刀双掷射频开关，具有输入端、第一输出端和第二输出端，所述输入端连接到所述法拉第平板电极，所述第一输出端连接到所述射频线圈的馈入端，所述第二输出端接地。本实用新型实现了电感耦合等离子体工艺与电容耦合等离子体清洁功能的一体化与自动控制，达到了均匀高效清除石英顶盖附着物、显著延长设备维护周期并提升产品良率的效果。
天眼查资料显示，上海稷以科技有限公司，成立于2015年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本516.8316万人民币。通过天眼查大数据分析，上海稷以科技有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目96次，财产线索方面有商标信息38条，专利信息186条，此外企业还拥有行政许可21个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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