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2026年9月8日,三星与ASML联合宣布,双方 扩大双方长期战略合作伙伴关系,进一步深化在高数值孔径(High-NA)极紫外光刻(EUV)及先进半导体制造技术上的协作,以支撑人工智能时代下一轮芯片创新。
在多年成功合作的基础上,双方将加速相关技术的开发与部署,以应对先进半导体制造对更高性能与更高效率的持续需求。 此次合作不仅覆盖下一代光刻装备的导入,也延伸至掩模规格与配套基础设施等产业共性环节。
三星将加入行业倡议,共同推进面向未来制造的下一代12英寸光掩模平台。数十年来,半导体行业一直依赖6英寸光掩模规格。随着High-NA EUV投入应用,若继续沿用既有6英寸掩模,单次曝光可覆盖的有效图案面积将显著受限,并增加拼接工序负担。
从而向更大的12英寸掩模过渡,有望进一步提升晶圆厂生产效率、降低芯片制造成本,并消除拼接限制。这将使先进芯片制造商能够更充分释放High-NA EUV的分辨率优势,提高未来领先制程芯片的成本竞争力。
凭借在存储器与晶圆代工制造领域的双重布局,以及在先进EUV光刻方面积累的量产经验,三星将在12英寸光掩模转型中发挥关键作用。该公司将与行业伙伴密切合作,开发所需的掩模技术及配套基础设施。
三星还计划于2028年前在业内率先将ASML的High-NA EUV技术引入未来DRAM大规模量产,进一步证明该技术已具备支撑先进存储与逻辑应用的条件。High-NA EUV有望拓展DRAM微缩路线图,通过更高分辨率实现工艺简化与效率提升,减少多重图形化带来的工序复杂度。
总的来看,此次战略升级标志着三星在下一代半导体制造竞争中迈出关键一步,从光刻设备到掩模标准全面布局。通过率先导入High-NA EUV并牵头12英寸掩模生态构建,三星不仅强化了自身在存储与代工领域的护城河,也为整个行业向AI时代的高效制造范式转型提供了明确路径。双方长期协同创新,正加速将前沿技术转化为量产竞争力。
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