恒运昌取得离子能量控制装置相关专利，该装置高效分离目标离子与杂质离子

来源：新浪证券-红岸工作室

9月9日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请一项名为“一种离子能量控制装置及离子发生设备”的专利，授权公告号CN224733874U，授权公告日为2026年9月8日。申请号为CN202521836892.9，申请公布日期为2026年9月8日，申请日期为2025年8月27日，发明人范天赐、杨博文、阳先峰、钟燕，专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理有限公司，专利代理师秦广成，分类号H05H1/24。

专利摘要显示，本实用新型涉及离子源加工技术领域，公开了一种离子能量控制装置及离子发生设备。离子能量控制装置适于与离子发射源配合连接，离子发射源适于发射目标离子与杂质离子，杂质离子和目标离子带异种电荷；离子能量控制装置包括：电极板，电极板具有与目标离子电荷类型相反的电场，适于吸附目标离子至电极板表面；底板，底板开设有排异通道，沿目标离子的移动方向，排异通道与电极板投影不重叠。通过设置带相反电场的电极板和开设排异通道的底板，实现了目标离子与杂质离子的高效分离。电极板吸附目标离子，而排异通道位于电极板投影之外，确保杂质离子不被吸附并顺利排出，提高了离子分离的纯度和效率。

恒运昌成立于2013年3月19日，将于2026年1月28日登陆上海证券交易所，注册及办公地点均位于广东省深圳市，是国内半导体等离子体电源领域专精特新标杆企业，核心产品技术壁垒突出。

公司隶属于申万行业电子-半导体-半导体设备赛道，布局小盘均衡、专精特新、小盘股概念板块，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源及各类配件的研发、生产、销售与技术服务，同时引进真空获得、流体控制等相关核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

2026年上半年，恒运昌实现营业收入2.78亿元，在27家同行业可比公司中排名第23位，当期行业营收第一名北方华创达201.61亿元、第二名中微公司为66.91亿元，行业营收平均数为21亿元、中位数为8.97亿元；营收结构中自研产品贡献2.43亿元，占比87.20%，引进产品实现收入3136.29万元，占比11.27%，技术服务收入427.57万元，占比1.54%。同期公司实现净利润5235.05万元，行业排名第18位，行业净利润榜首北方华创达32.29亿元，第二位中微公司为27.97亿元，行业净利润平均数为4.99亿元、中位数为1.57亿元。

指标类别具体指标恒运昌当期数值行业排名/总家数行业头部企业数值行业平均数行业中位数营业收入2026年上半年营收2.78亿元23/27北方华创201.61亿元、中微公司66.91亿元21亿元8.97亿元净利润2026年上半年净利润5235.05万元18/27北方华创32.29亿元、中微公司27.97亿元4.99亿元1.57亿元营收构成自研产品收入及占比2.43亿元，87.20%营收构成引进产品收入及占比3136.29万元，11.27%营收构成技术服务收入及占比427.57万元，1.54%

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610866531.12026-06-16CN122387258A2026-07-14林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅2阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610866535.X2026-06-16CN122431476A2026-07-21林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅3射频信号校正方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610866517.12026-06-16CN122488883A2026-07-31林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅4增益定标方法、动态阻抗测试方法、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610655279.X2026-05-13CN122172062A2026-06-09林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿5射频电源的最大梯度角确定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610655069.02026-05-13CN122218558A2026-06-16林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿6射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610502496.52026-04-15CN122372552A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛7射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610503991.82026-04-15CN122372554A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛8射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610503110.22026-04-15CN122372553A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛9用于等离子体源的冷却结构的灌封方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610347546.72026-03-19CN122560300A2026-08-14范天赐、丁鹏、刘景锋、麦峻铭、何志军、乐卫平10离子源外观专利授权CN202630089593.72026-02-27CN310129866S2026-08-04郑孟昌、吴基锴、黄晓东11一种基于MEMS流量传感器的封装结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511718126.72025-11-21CN121783294A2026-04-03乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰12一种分流式宽量程的流量传感器实用新型授权CN202522472583.42025-11-21CN224719473U2026-09-04乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰13一种主旁路分流的流量传感器实用新型授权CN202522472586.82025-11-21CN224719472U2026-09-04宋秋明、乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、程思思、贾原、陈韵平、刘涛、张文杰14射频电源外观专利授权CN202530576887.82025-09-26CN309908228S2026-04-10吴基锴、黄晓东15石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备发明专利公布CN202511222075.92025-08-28CN120984635A2025-11-21乐卫平、刘涛、谢幸光、阳先峰、范天赐、吴凤波16悬浮电极电路及能够应用于石墨舟清洗的设备实用新型授权CN202521858964.X2025-08-28CN224554317U2026-07-24乐卫平、刘涛、阳先峰、范天赐、谢幸光、吴凤波17能够用于石墨舟清洗的设备实用新型授权CN202521864737.82025-08-28CN224687475U2026-08-28乐卫平、刘涛、阳先峰、范天赐、谢幸光、吴凤波18电感耦合式离子源外观专利授权CN202530508853.52025-08-27CN309893090S2026-04-03范天赐、杨博文、阳先峰19一种电感调节装置实用新型授权CN202521840110.92025-08-27CN224682914U2026-08-25范天赐、杨博文、阳先峰、钟燕20一种磁场封闭线圈实用新型授权CN202521837653.52025-08-27CN224708649U2026-09-01范天赐、杨博文、阳先峰、钟燕21一种离子能量控制装置及离子发生设备实用新型授权CN202521836892.92025-08-27CN224733874U2026-09-08范天赐、杨博文、阳先峰、钟燕22一种D类逆变器及射频电源实用新型授权CN202521178423.22025-06-10CN224329399U2026-06-05林桂浩、林伟群、龚城23基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器实用新型授权CN202520985855.82025-05-19CN224203290U2026-05-05林伟群、章兵24烧结散热板的功放电路板及其制造方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510637416.22025-05-16CN120456433A2025-08-08林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩25一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置实用新型授权CN202520974119.22025-05-16CN224203922U2026-05-05黄晓东、吴基锴、林伟群26烧结有散热板的功率放大器模块及射频电源实用新型授权CN202520974094.62025-05-16CN224356081U2026-06-12林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩27共模电感器、滤波电路及半导体工艺设备实用新型授权CN202520917900.62025-05-12CN224232456U2026-05-12杨佩铮、黄晓东28等离子体激发组件、电磁场产生装置及等离子体产生装置实用新型授权CN202520890439.X2025-05-07CN224192118U2026-05-01范天赐、刘涛29气体输送组件及等离子体产生装置实用新型授权CN202520890014.92025-05-07CN224192116U2026-05-01范天赐、刘涛30等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520899792.42025-05-07CN224205298U2026-05-05范天赐、刘涛31远程等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520898482.02025-05-07CN224356326U2026-06-12范天赐、刘涛32等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520889478.82025-05-07CN224356325U2026-06-12范天赐、刘涛33出气装置和等离子体处理设备实用新型授权CN202520890194.02025-05-07CN224384247U2026-06-19范天赐、刘涛34离子源外观专利授权CN202530220855.42025-04-22CN309611196S2025-11-18杨靖、乐卫平35匹配器外观专利授权CN202530200095.02025-04-14CN309612116S2025-11-18戴和新、乐卫平36电压采样电路和电压采样装置实用新型授权CN202520604431.22025-04-01CN224203286U2026-05-05林伟群、郭启亮37一种电感及射频设备实用新型授权CN202520470396.X2025-03-17CN223898122U2026-02-10戴和新、林伟群38一种电感结构及电感线圈安装模具实用新型授权CN202520470388.52025-03-17CN223911506U2026-02-13吴基锴、林伟群39一种电感结构实用新型授权CN202520461387.42025-03-17CN223911515U2026-02-13杨靖、林伟群40一种射频匹配器实用新型授权CN202520463818.02025-03-17CN223912462U2026-02-13黄晓东、林伟群41一种电感结构实用新型授权CN202520465236.62025-03-17CN223911491U2026-02-13吴基锴、林伟群42射频电源外观专利授权CN202530115868.52025-03-12CN309529756S2025-10-03郑孟昌、乐卫平43滤波器外观专利授权CN202530083855.42025-02-25CN309530166S2025-10-03黄晓东、乐卫平44滤波器外观专利授权CN202530083847.X2025-02-25CN309530165S2025-10-03黄晓东、乐卫平45双频匹配器外观专利授权CN202530083845.02025-02-25CN309530164S2025-10-03黄晓东、乐卫平46射频电源外观专利授权CN202530050883.62025-01-24CN309530134S2025-10-03吴基锴、乐卫平47滤波器外观专利授权CN202530050861.X2025-01-24CN309530133S2025-10-03黄晓东、乐卫平48一种多脉冲信号柔性驱动调节装置及方法发明专利公布CN202510117216.42025-01-24CN122456849A2026-07-24唐亚海、乐卫平、詹宏金、邱盛军、沈圣锋、林芳成、于传浪49一种电弧抑制优化方法发明专利公布CN202510117232.32025-01-24CN122455624A2026-07-24唐亚海、乐卫平、詹宏金、邱盛军、沈圣锋、林芳成、于传浪50功率合成再分配发生器外观专利授权CN202530044831.82025-01-22CN309530126S2025-10-03杨靖、乐卫平