中科飞测取得标准片及掩膜版相关专利，集成多图案，降SEM角度校正的片数与成本

来源：新浪证券-红岸工作室

9月9日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种标准片及掩膜版”的专利，授权公告号CN122267035B，授权公告日为2026年9月8日。申请公布号为CN122267035A，申请号为CN202610653251.2，申请公布日期为2026年9月8日，申请日期为2026年5月13日，发明人吕肃、蒋路翔、陈鲁，专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司，专利代理师张思淼，分类号H01J37/153、G03F1/44、H01J37/26、G01Q30/02。

专利摘要显示，本申请公开了一种标准片及掩膜版，可用于光学系统性能检测领域，该标准片包括扫描电子显微镜标定图案，扫描电子显微镜标定图案用于对扫描电子显微镜进行扫描角度校正；扫描电子显微镜标定图案包括角度校正图案，扫描电子显微镜标定图案包括至少一层图案层，角度校正图案包括扫描角度校正图案，其中，扫描角度校正图案包括由至少2层图案层形成的田字格图案。由此，将用于对扫描电子显微镜进行扫描角度校正的多种不同图案集成于同一标准片上，标准片的功能更全面，大幅减少了校正扫描电子显微镜所需要的标准片数量，降低了对扫描电子显微镜进行校正的成本。

中科飞测是国内领先的集成电路检测量测设备供应商，依托自主核心技术打破海外厂商长期垄断格局，公司成立于2014年12月31日，于2023年5月19日登陆上海证券交易所，注册及办公地点均位于广东省深圳市。

公司主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，申万行业分类隶属于电子-半导体-半导体设备赛道，同时覆盖半导体检测、中芯国际概念、HBM概念三大热门概念板块。

2026年上半年，中科飞测实现营业收入9.41亿元，在27家半导体设备可比公司中排名第12位，同期行业营收第一名北方华创达201.61亿元、第二名中微公司为66.91亿元，行业平均营收21亿元、中位数为8.97亿元；营收结构中检测设备贡献6.41亿元占比68.17%，量测设备贡献2.66亿元占比28.22%，服务及其他收入3348.72万元占比3.56%，软件收入53.1万元占比0.06%。当期公司归母净利润为-1.27亿元，在27家可比公司中排名第26位，同期行业净利润第一名北方华创达32.29亿元、第二名中微公司为27.97亿元，行业平均净利润4.99亿元、中位数为1.57亿元。

指标类别具体指标2026年上半年数值行业排名/总样本数行业头部对标行业均值行业中位数营收表现总营业收入9.41亿元12/27北方华创201.61亿元、中微公司66.91亿元21亿元8.97亿元营收结构检测设备收入6.41亿元，占比68.17%营收结构量测设备收入2.66亿元，占比28.22%营收结构服务及其他收入3348.72万元，占比3.56%营收结构软件收入53.1万元，占比0.06%盈利表现净利润-1.27亿元26/27北方华创32.29亿元、中微公司27.97亿元4.99亿元1.57亿元

深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种卡盘发明专利公布CN202611179734.X2026-08-05CN122679879A2026-09-01张鹏斌、仇志远、王福旺、陈鲁2半导体版图与光学图的对齐方法、设备及存储介质发明专利公布CN202611001185.72026-07-07CN122636675A2026-08-25齐鑫、张鹏斌、李楠楠、陈鲁3消相干照明系统以及通过消相干获取照明光的方法发明专利公布CN202610977127.12026-07-01CN122632464A2026-08-25陈鲁、黄有为、杨雪芳、赵哲承4一种机台的晶圆产能计算方法、计算装置及计算系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610963067.82026-06-30CN122594625A2026-08-18荣楠、陈鲁、金炼5面型计算系统和面型计算方法发明专利公布CN202610893239.92026-06-22CN122432442A2026-07-21郁健、马砚忠、余涛、陈鲁6移相同步监控补偿的干涉仪及控制方法发明专利授权CN202610870545.02026-06-16CN122384663B2026-09-08尉佩、马砚忠、陈鲁7光纤的光场检测装置和光场检测方法发明专利公布CN202610868530.02026-06-15CN122671126A2026-09-01路长庚、莫云杰、吕肃、陈鲁8多层焊柱的高度测量方法、芯片倾角测量方法及多层焊柱的高度测量系统发明专利公布CN202610788009.62026-06-02CN122641323A2026-08-25陈鲁、马砚忠、张越9不同角度下量测点的定位方法、定位系统、小角散射系统和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610748017.82026-05-27CN122612641A2026-08-21陈鲁、马砚忠、李鹰10扫描电子显微镜发明专利公布CN202610702437.22026-05-20CN122638408A2026-08-25吕肃、陈鲁、朱春涛11一种标准片及掩膜版发明专利授权CN202610653251.22026-05-13CN122267035B2026-09-08吕肃、蒋路翔、陈鲁12一种掩膜版缺陷检测方法和相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610653893.22026-05-12CN122492647A2026-07-31陈鲁、黄有为、杨坚13一种图像对位方法、装置及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610637168.62026-05-11CN122223079A2026-06-16张鹏斌、韩欣、潘浩、齐鑫、陈鲁14芯片角度调整方法、装置及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610612432.02026-05-06CN122497326A2026-07-31李炎、李鹰、马砚忠、陈鲁15几何参数标定方法、计算机层析成像方法和系统、介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610551857.52026-04-23CN122573798A2026-08-14李炎、邹翔、马砚忠、陈鲁16一种检测系统及其自动调焦方法、存储介质发明专利授权CN202610541586.52026-04-23CN122120580B2026-09-08尉佩、马砚忠、陈鲁17产品的检测方法、检测系统和服务器发明专利实质审查的生效、公布CN202610451627.12026-04-07CN122415314A2026-07-17陈明山、黄有为、陈鲁18渲染模型的校准方法、校准系统及存储介质发明专利公布CN202610449883.72026-04-07CN122435107A2026-07-21柯贤华、黄有为、陈鲁19一种大尺寸曲晶圆形貌测量装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610429525.X2026-04-02CN122305979A2026-06-30孙晶露、马砚忠、邓忠寒、陈鲁20金属薄膜光声信号零点测量方法、装置、设备及存储介质发明专利公布CN202610399241.02026-03-27CN122430249A2026-07-21白园园、崔舒涵、马砚忠、陈鲁21缓存装置、检测设备及检测工艺发明专利授权CN202610378049.32026-03-26CN121941304B2026-06-19马砚忠、余涛、王见、陈鲁22波场计算方法和装置、散射图像获取方法及可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610361993.82026-03-23CN122259619A2026-06-23温朗枫、马砚忠、张兴民、陈鲁23一种成像装置及成像方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610351971.32026-03-20CN122238387A2026-06-19李炎、王旭、马砚忠、陈鲁24量测设备及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610347630.92026-03-20CN122258790A2026-06-23袁明波、王见、马砚忠、陈鲁25量测设备及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610347632.82026-03-20CN122258791A2026-06-23陈鲁、袁明波、马砚忠、王见26扫描电子显微镜工作距离的校准方法、扫描电子显微系统和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610203146.92026-02-11CN122108011A2026-05-29邵双方、吕肃、陈鲁27结构参数反演方法、测量设备及计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610203714.52026-02-11CN122170767A2026-06-09李炎、周中正、温朗枫、马砚忠、陈鲁28一种膜厚虚拟量测方法、模型训练方法及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610121250.32026-01-28CN122153281A2026-06-05任泽林、田旷达、庄旭、张嵩、陈鲁29一种根因定位方法、根因定位系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610120891.72026-01-28CN122220959A2026-06-16田旷达、杨思晓、张嵩、陈鲁30开关防护装置及X射线检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610097307.02026-01-23CN122050905A2026-05-15李炎、邢立娜、马砚忠、陈鲁31成像系统以及成像方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610094342.72026-01-23CN122131550A2026-06-02姚本溪、郝柏尊、吕肃、陈鲁32成像方法以及成像系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610098261.42026-01-23CN122131551A2026-06-02吕肃、姚本溪、郝柏尊、陈鲁33扫描电子显微镜对中调节方法及相关装置发明专利公布CN202610043765.62026-01-13CN121839511A2026-04-10吕肃、许涛、陈鲁34一种图像测量系统发明专利公布CN202512060296.72025-12-31CN121837239A2026-04-10刘健鹏、黎广言、张鹏斌、陈鲁35一种图像角度确定方法及图像角度确定装置、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512060747.72025-12-31CN121861000A2026-04-14王启坤、黎广言、张鹏斌、陈鲁36一种光声测量过程中的刀口校准方法发明专利实质审查的生效、公布CN202512058972.72025-12-31CN121917461A2026-04-24马砚忠、戴鹭楠、陈鲁37椭偏测量的修正方法、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512060067.52025-12-31CN121996924A2026-05-08马砚忠、高浩哲、陈鲁38一种聚焦偏移标定方法、系统以及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512036837.22025-12-30CN121720376A2026-03-24吕肃、商橙、陈鲁39膜层测量装置和膜层测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202512044490.62025-12-29CN121720986A2026-03-24孙韬、马砚忠、白园园、陈鲁40旋转补偿器及光学测量系统发明专利实质审查的生效、公布CN202512016763.62025-12-29CN121806272A2026-04-07马砚忠、石海林、陈鲁41一种晶圆字符串检测方法及检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512023232.X2025-12-29CN121903982A2026-04-21董坤玲、杨亭、张鹏斌、陈鲁42膜层测量方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511985534.92025-12-25CN121855402A2026-04-14陈鲁、马砚忠、孙韬、郑麦杰43一种光路装置、光学检测方法以及检测设备发明专利授权CN202511960845.X2025-12-24CN121384814B2026-03-31赵康俊、张龙、黄有为、陈鲁44一种光路装置、光学检测方法以及检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610143618.62025-12-24CN121918317A2026-04-24陈鲁、黄有为、张龙45一种待测点的位置确定方法及光学检测系统、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511958659.22025-12-23CN121746485A2026-03-27胡荣镇、姜菲菲、贺金龙、陈鲁46半导体量测系统和X射线束定位方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511951765.82025-12-22CN121855427A2026-04-14马砚忠、陈鲁、李炎、白园园、崔建华47一种数据处理方法和相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511930385.62025-12-19CN121708098A2026-03-20陈鲁、黄有为、张龙、陈忠奎、邹丽君、徐雨哲、孙守强48一种AI推理方法、推理系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511925037.X2025-12-18CN121902972A2026-04-21贺金龙、陈基荣、陈鲁49基于深度学习可自动聚焦和像散校正的成像参数校正方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511930080.52025-12-18CN121921188A2026-04-24汪进鸿、吕肃、陈鲁50一种样品运动平台及其控制方法、检测设备发明专利公布CN202511889595.52025-12-12CN121828580A2026-04-10庞芝亮、吕肃、陈鲁