国家知识产权局信息显示,聚时科技(上海)有限公司申请一项名为“一种晶圆对准控制方法、装置及晶圆检测系统”的专利,公开号CN122719409A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体检测技术领域,为一种半导体芯片检测方法,具体为一种晶圆对准控制方法、装置及晶圆检测系统。本申请实施例提供的技术方案中,通过生成满足预设条件的第一标记框和第二标记框,并基于两个标记框内特征之间的空间变换关系确定旋转角度,利用长基线测量原理有效放大了微小旋转角度在位移上的表现,显著提高了旋转角度的计算精度,从而实现了晶圆的高精度对准,满足了半导体制造工艺对高精度定位的严苛要求。
天眼查资料显示,聚时科技(上海)有限公司,成立于2018年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1828.7703万人民币。通过天眼查大数据分析,聚时科技(上海)有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息159条,专利信息332条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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