北京
国家知识产权局信息显示，沈阳新松半导体设备有限公司申请一项名为“一种真空机械手防异物掉落结构”的专利，公开号CN122703562A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本发明涉及一种真空机械手防异物掉落结构，属于机械手技术领域。本发明在电机壳与波纹管连接处增设转接板，转接板与手臂连接转子轴之间形成交错配合结构。法兰盘上开设有环槽，转接板上开设环槽，手臂连接转子轴上设置凸台，转接板的环槽与凸台轴向错位配合形成迷宫通道。转接板分别与波纹管和电机壳固定连接，作为中间过渡件在波纹管与电机壳之间形成物理屏障。本发明结构简单、便于装配，能有效阻挡晶圆碎片、弹簧垫圈等异物进入电机壳内部污染码盘，显著降低机械手故障率和产线停摆次数，提高晶圆传输系统的运行可靠性和生产效率。
天眼查资料显示，沈阳新松半导体设备有限公司，成立于2023年，位于沈阳市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本29294.5455万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳新松半导体设备有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息67条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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