上海
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近日，在第十四届半导体设备材料及核心部件展上，国产电子束关键尺寸量测设备（CD-SEM）迎来重要进展：国内某企业发布国内首台14纳米研发级、22纳米量产级12英寸晶圆CD-SEM，光掩模版量测设备与AI电子束量测平台同步亮相。CD-SEM被业内称为“小光刻机”，是先进制程晶圆良率控制的关键装备，此次发布有望补齐国产高端量测短板，相关工艺段生产效率有望提升约10倍。
南方基金郑晓曦深耕半导体芯片产业，坚定看好国家产业升级的大方向。她管理的南方半导体产业股票发起聚焦半导体自主可控，重点关注光刻机相关产业链。
南方半导体产业股票发起（A类：020553/C类：020554）
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